由制氮机制取的氮气中含氧量小于0.5%时，宜采用脱氧剂直接除氧，含氧量为0.5-3%时，宜采用催化剂加氢除氧，含氧量大于3%时可采用分级催化除氧。因为氮气中含氧量过高，按化学计量所需的氢气量大，一次全部加入时，可能有爆的危险；且反应中放出的热量较大，易烧坏催化剂。因此，必须严格控制加氢量进行分级除氧。原料氮气中含氧量过高时，亦可用部分纯氮稀释原料气，使混合气体中含氧量小于3%再进行加氢催化除氧。
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电子行业制氮机需要用氮气处理电子产品的封装、烧结、退火、还原、储存等，行业一般有：水晶、电池、电子陶瓷和电子合金材料等。根据行业和用途不同，通常氮气纯度不得低于***99.9%，也有采用99.99%，有些行业甚至会通过纯化装置制取***99.999%的高纯氮，低于-65℃的---氮气。
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